在設(shè)計臭氧發(fā)生器法處理站時，常將由共同工藝流程聯(lián)系起來的各種房間布置在同一樓房內(nèi)。在大型臭氧發(fā)生器法水處理站中的控制間，附屬生活間，電氣設(shè)備間常設(shè)在獨立的樓房中，但和工藝樓房有通道相連。臭氧發(fā)生器法水處理站平面布置必須考慮臭氧制造和利用的工藝操作順序，臭氧化氣的毒性及其不穩(wěn)定性。臭氧發(fā)生器法水處理裝置常根據(jù)其不同的功能分組進行布置：空氣壓強和空氣處部分，臭氧制造部分，供電部分和水-臭氧接觸裝置部分。第一部分最好有自己單獨房間。這樣的分組布置使得將有可能出現(xiàn)危害性的臭氧高濃度的房間分離開來。各組房間相對位置雖無一定要求，但應(yīng)注意到臭氧的毒性和不穩(wěn)定性，即臭氧制造間與臭氧接觸裝置間應(yīng)緊密相連（為了縮短輸氣管路）。

布置臭氧發(fā)生器法水處理裝置時應(yīng)能保證設(shè)備維護方便，大修時易拆裝，盡量縮短臭氧化氣輸氣管路和自流管路的長度。布置設(shè)備時應(yīng)遵守相應(yīng)的建筑法規(guī)，照明標準，技術(shù)安全的規(guī)則和標準，勞保和安裝的通道，人流通道以及有可能清理設(shè)備的工作表面。設(shè)備，控制盤，建筑構(gòu)造表面的突出部分之間的凈空應(yīng)不小于1m。機器維護之間（空氣壓縮機，鼓風機，水泵）的通道寬度凈不小于1m（小型機器除外，如機器的寬度與高度均小于800mm）。對于水型機器則減少至0.8m。需周期性維護的設(shè)備，發(fā)如控制盤的維護通道寬度應(yīng)不小于0.8m。安裝臭氧發(fā)生器時需考慮到發(fā)生器電極的拆裝。