臭氧的發(fā)現(xiàn)及認識過程，是人類應(yīng)用臭氧的開始，臭氧應(yīng)用使臭氧制取技術(shù)得以快速發(fā)展，人工產(chǎn)生臭氧的方法按原理分為光化學、電化學、原子輻射和電暈放電等幾種。原子輻射法用得極少，工業(yè)應(yīng)用臭氧源大多采用氣體電暈放電型的臭氧發(fā)生器。目前用于實際的臭氧合成技術(shù)有如下幾種：

光化學法——紫外線臭氧發(fā)生器

此方法是光波中的紫外光會使氧氣分子O₂分解并聚合成臭氧O₃，大氣上空的臭氧層即是由此產(chǎn)生的。

波長λ＝185nm（10^-9m）的紫外光效率最高，此時，光量子被O₂吸收率最大。其反應(yīng)基本過程為：

O₂+ hr→O + O

O₂+ O + M→O₃+M

hr——紫外光量子；

M——存在的任何惰性物體，如反應(yīng)器器壁、氮、二氧化碳氣體分子等。

使用185nm紫外光產(chǎn)生臭氧的光效率為130gO₃/kw·h，是比較高的。但目前低壓汞紫外燈的電－光轉(zhuǎn)換效率很低，只為0.6%～1.5%，則紫外法產(chǎn)生臭氧的電耗高達600kwh/kgO₃，即1.5gO₃/kw·h，工業(yè)應(yīng)用價值不大。

紫外法產(chǎn)生臭氧的優(yōu)點是對濕度、溫度不敏感，具有很好的重復(fù)性。同時，可以通過燈功率線性控制臭氧濃度、產(chǎn)量。這兩個特性對于臭氧用于人體治療與作為儀器的臭氧標準源是非常合適的。